Member for semiconductor manufacturing device

WO2021024858 Art A1 11. Februar 2021

Anmelder: NGK INSULATORS, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021024858
Aktenzeichen
EP20850109
Anmeldetag
28. Juli 2020
Veröffentlichung
11. Februar 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H05B3/74H01L21/3065H01L21/683C23C16/46C23C16/509
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NGK INSULATORS, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 NGK Insulators

Japanisches Industrieunternehmen mit Sitz in Nagoya. NGK Insulators fertigt Keramikprodukte, darunter Isolatoren, Abgaskatalysatorträger, Sensoren und Energiespeichersysteme für Energieversorgung, Automobil und Industrie.

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