Large-size thin-film deposition substrate and method for manufacturing same, segmented thin-film deposition substrate and method for manufacturing same, and production management method and production management system for segmented thin-film deposition substrate

WO2021025052 Art A1 11. Februar 2021

Anmelder: KANEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021025052
Aktenzeichen: EP20850001
Anmeldetag: 5. August 2020
Veröffentlichung: 11. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L31/18H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KANEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kaneka

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Osaka. Kaneka stellt Kunststoffe, funktionale Chemikalien, Lebensmittelzusatzstoffe, Medizinprodukte und Materialien für Elektronik und Bauwesen her.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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