Deposition method for carbon-containing thin film

WO2021025314 Art A1 11. Februar 2021

Anmelder: INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021025314
Aktenzeichen
EP20849050
Anmeldetag
14. Juli 2020
Veröffentlichung
11. Februar 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01L21/02C23C16/26C23C16/455
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG
Land
🇰🇷 Südkorea
🇰🇷 Industry-University Cooperation Foundation Hanyang

Die Industry-University Cooperation Foundation Hanyang ist die Forschungstransferstelle der Hanyang University in Südkorea. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Medizintechnik, ergänzt um Mess- und Prüftechnik und Software. Anmeldungen laufen von 2011 bis in die Gegenwart.

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