Method and metrology tool for determining information about a target structure, and cantilever probe

WO2021028174 Art A1 18. Februar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021028174
Aktenzeichen: EP20744028
Anmeldetag: 22. Juli 2020
Veröffentlichung: 18. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00G01N29/24B82Y35/00G03F7/20G01N29/34G01Q60/38

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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