Illumination and detection apparatus for a metrology apparatus

WO2021032366 Art A1 25. Februar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021032366
Aktenzeichen: EP20739997
Anmeldetag: 14. Juli 2020
Veröffentlichung: 25. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G01J3/36G01N21/95G01N21/956G02B5/20G02B27/10G02B27/12G01J3/10G01J3/12G01J3/28G02B27/14

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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