Numerically compensating sem-induced charging using diffusion-based model

WO2021032652 Art A1 25. Februar 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021032652
Aktenzeichen: EP20756862
Anmeldetag: 15. August 2020
Veröffentlichung: 25. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/22H01J37/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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