Substrate conveying robot, substrate conveying system, and substrate conveying method

WO2021033534 Art A1 25. Februar 2021

Anmelder: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA, KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021033534
Aktenzeichen: EP20854792
Anmeldetag: 4. August 2020
Veröffentlichung: 25. Februar 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B25J9/06B65G49/07H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA
KAWASAKI ROBOTICS (USA), INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kawasaki Heavy Industries

Japanischer Schwerindustriekonzern mit Sitz in Kobe. Kawasaki fertigt Motorräder, Schienenfahrzeuge, Schiffe, Flugzeuge sowie Anlagen für Energie- und Robotertechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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