Heat treatment method and heat treatment apparatus

WO2021039148 Art A1 4. März 2021

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021039148
Aktenzeichen: EP20856319
Anmeldetag: 10. Juli 2020
Veröffentlichung: 4. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/027H01L21/3065H01L21/312H01L21/314

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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