Active-ray-sensitive or radiation-sensitive resin composition, active-ray-sensitive or radiation-sensitive film, pattern formation method, and electronic device manufacturing method
WO2021039654
Art A1
4. März 2021
Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021039654
- Aktenzeichen
- EP20856123
- Anmeldetag
- 21. August 2020
- Veröffentlichung
- 4. März 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C07C63/04C07C309/12C07C309/17C07C381/12C07D211/16C07D211/46C07D217/08C07D327/06C07D333/46C07D335/02C08F12/24C09K3/00G03F7/004G03F7/039G03F7/20C07C69/06
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- FUJIFILM CORPORATION
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Fujifilm
Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.
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