Optical system, optical device, and method for manufacturing optical system

WO2021039815 Art A1 4. März 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021039815
Aktenzeichen
EP20856467
Anmeldetag
26. August 2020
Veröffentlichung
4. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G02B13/00G02B13/18G02B15/167G02B15/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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