Fluorine Detection in A Gas Discharge Light Source

WO2021041224 Art A1 4. März 2021

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021041224
Aktenzeichen: EP20771948
Anmeldetag: 21. August 2020
Veröffentlichung: 4. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N33/00G01N33/52H01S3/104H01S3/225

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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