Low-K Films

WO2021041369 Art A1 4. März 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021041369
Aktenzeichen
EP20855948
Anmeldetag
25. August 2020
Veröffentlichung
4. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/30C23C16/36C23C16/455C23C16/50C23C16/56
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
APPLIED MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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