Group Vi Metal Deposition Process

WO2021041442 Art A1 4. März 2021

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021041442
Aktenzeichen
EP20856601
Anmeldetag
25. August 2020
Veröffentlichung
4. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C23C16/16C23C16/455H01L21/285
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von

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