Magnetic guide for guiding a carrier, transport system for transporting a carrier, and method of guiding a carrier

WO2021043411 Art A1 11. März 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021043411
Aktenzeichen: EP19765699
Anmeldetag: 5. September 2019
Veröffentlichung: 11. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B65G21/22B65G54/02H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Verpackungs- & Fördertechnik

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