Mode control of photonic crystal fiber based broadband light sources

WO2021043593 Art A1 11. März 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V., ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021043593
Aktenzeichen
EP20756905
Anmeldetag
20. August 2020
Veröffentlichung
11. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/365G02B6/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML NETHERLANDS B.V.
ASML HOLDING N.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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