Nozzle apparatus

WO2021044037 Art A1 11. März 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021044037
Aktenzeichen
EP20771239
Anmeldetag
4. September 2020
Veröffentlichung
11. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H05G2/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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