Object transfer apparatus and processing system

WO2021044505 Art A1 11. März 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021044505
Aktenzeichen: EP19944155
Anmeldetag: 3. September 2019
Veröffentlichung: 11. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B23Q1/38B23K26/08B23Q1/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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