Sample image display system and charged particle beam apparatus

WO2021044544 Art A1 11. März 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021044544
Aktenzeichen
EP19943854
Anmeldetag
4. September 2019
Veröffentlichung
11. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G01N23/2251H01J37/22H01J37/24
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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