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WO2021044622 Art A1 11. März 2021

Anmelder: CANON ANELVA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021044622
Aktenzeichen: EP19944210
Anmeldetag: 6. September 2019
Veröffentlichung: 11. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/677H01L21/02H01L21/3065

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: CANON ANELVA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Canon Anelva

Canon Anelva ist ein japanischer Hersteller von Vakuum- und Beschichtungsanlagen für die Halbleiterindustrie und Teil des Canon-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie und Oberflächentechnik, ergänzt um Schaltungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2024 ab.

421 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von