Film formation method and semiconductor device manufacturing method

WO2021044644 Art A1 11. März 2021

Anmelder: DENSO CORPORATION, NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KYOTO INSTITUTE OF 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021044644
Aktenzeichen
EP20861005
Anmeldetag
9. Januar 2020
Veröffentlichung
11. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/16C23C16/40H01L21/368
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
DENSO CORPORATION
NATIONAL UNIVERSITY CORPORATION KYOTO INSTITUTE OF
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Denso

Japanischer Automobilzulieferer mit Sitz in Kariya (Präfektur Aichi). Denso entwickelt Antriebs, Klima, Sicherheits und Elektroniksysteme für Fahrzeuge sowie Komponenten für Elektromobilität, Fahrerassistenz und Halbleitertechnik.

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