Polishing device

WO2021044735 Art A1 11. März 2021

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021044735
Aktenzeichen
EP20860798
Anmeldetag
13. Juli 2020
Veröffentlichung
11. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
B24B21/00B24B9/00B24B21/08H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EBARA CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

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