Exposure device, and method for manufacturing article

WO2021044797 Art A1 11. März 2021

Anmelder: CANON KABUSHIKI KAISHA 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021044797
Aktenzeichen
EP20860278
Anmeldetag
5. August 2020
Veröffentlichung
11. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
CANON KABUSHIKI KAISHA
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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