Crystal film, semiconductor device including crystal film, and method for manufacturing crystal film

WO2021044845 Art A1 11. März 2021

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE, FLOSFIA INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021044845
Aktenzeichen
EP20861717
Anmeldetag
19. August 2020
Veröffentlichung
11. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/16C23C16/04C23C16/40C30B25/04H01L21/365H01L21/368
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE
FLOSFIA INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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