Low Angle Membrane Frame For an Electroplating Cell
WO2021046068
Art A1
11. März 2021
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021046068
- Aktenzeichen
- EP20860668
- Anmeldetag
- 2. September 2020
- Veröffentlichung
- 11. März 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- C25D17/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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