Wavelength converter device, solid-state laser system, and electronic device production method

WO2021049022 Art A1 18. März 2021

Anmelder: GIGAPHOTON INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021049022
Aktenzeichen
EP19945390
Anmeldetag
13. September 2019
Veröffentlichung
18. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/37H01S3/108
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
GIGAPHOTON INC.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Gigaphoton

Gigaphoton ist ein japanischer Hersteller von Excimer-Lasersystemen für die Halbleiterlithografie, ein Gemeinschaftsunternehmen unter Beteiligung von Komatsu. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Elektronik. Anmeldungen erstrecken sich von 2001 bis 2023.

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