Polishing composition and polishing method using same

WO2021049154 Art A1 18. März 2021

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021049154
Aktenzeichen
EP20863446
Anmeldetag
10. Juli 2020
Veröffentlichung
18. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C09G1/02C09K3/14B24B37/00H01L21/304
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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