Treatment liquid, kit, treatment liquid production method, substrate cleaning method, and substrate treatment method

WO2021049208 Art A1 18. März 2021

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021049208
Aktenzeichen
EP20862722
Anmeldetag
4. August 2020
Veröffentlichung
18. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C11D17/08C11D7/06C11D7/08C11D7/10C11D7/26C11D7/32C11D7/34C11D7/50G03F7/00G03F7/32G03F7/40G03F7/42H01L21/027H01L21/304H01L21/306H01L21/308
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIFILM CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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