Coater, coating device, and coating method

WO2021049320 Art A1 18. März 2021

Anmelder: TORAY ENGINEERING CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021049320
Aktenzeichen: EP20863741
Anmeldetag: 28. August 2020
Veröffentlichung: 18. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B05C11/10B05D1/26B05C5/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TORAY ENGINEERING CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toray Engineering

Toray Engineering ist eine japanische Tochtergesellschaft des Toray-Konzerns und stellt Fertigungsanlagen für Halbleiter- und Displayproduktion her. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente sowie Verfahrens- und Trenntechnik, ergänzt um Elektronik. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2025.

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Fachgebiete

Verfahrens- & Trenntechnik

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