Compound, resin, composition, resist film, pattern forming method, underlayer film, and optical article

WO2021049472 Art A1 18. März 2021

Anmelder: THE SCHOOL CORPORATION KANSAI UNIVERSITY, MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021049472
Aktenzeichen: EP20863047
Anmeldetag: 8. September 2020
Veröffentlichung: 18. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C08G64/00C08G65/34C08G71/04G03F7/022G03F7/11G03F7/20C08G18/32C08G18/67H01L21/027C07D307/62C08G63/40C08G63/52C08G63/64C07C69/732

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: THE SCHOOL CORPORATION KANSAI UNIVERSITY
MITSUBISHI GAS CHEMICAL COMPANY, INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Mitsubishi Gas Chemical Company

Japanisches Chemieunternehmen der Mitsubishi-Gruppe mit Fokus auf technische Kunststoffe, Methanol und Spezialchemikalien. Der Konzern beliefert unter anderem die Elektronik- und Verpackungsindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik Optik & Fototechnik Organische Chemie

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