Method for generating plasma active species by using pulse type power

WO2021049884 Art A1 18. März 2021

Anmelder: POSTECH RESEARCH AND BUSINESS DEVELOPMENT FOUNDATI 🇰🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021049884
Aktenzeichen: EP20863315
Anmeldetag: 10. September 2020
Veröffentlichung: 18. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H05H1/46H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: POSTECH RESEARCH AND BUSINESS DEVELOPMENT FOUNDATI
Land: 🇰🇷 Südkorea

🇰🇷 Postech Research and Business Development Foundation

Die POSTECH Research and Business Development Foundation verwaltet die Patentverwertung der südkoreanischen Universität POSTECH (Pohang University of Science and Technology). Das Portfolio verteilt sich breit über Halbleitertechnik, Medizintechnik, Pharma/Biotechnologie und Software. Die Anmeldungen decken den Zeitraum 2019 bis 2025 ab.

280 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von