Apparatus and techniques for ion energy measurement in pulsed ion beams

WO2021050180 Art A1 18. März 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021050180
Aktenzeichen: EP20863232
Anmeldetag: 6. August 2020
Veröffentlichung: 18. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N23/2255G01N23/2206G01N23/2204G01R15/18

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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