In-situ sensor-fusion with artificial intelligence

WO2021050189 Art A1 18. März 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021050189
Aktenzeichen: EP20862381
Anmeldetag: 11. August 2020
Veröffentlichung: 18. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01F23/00G01F23/20B01D19/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik

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