Automatic teaching of substrate handling for production and process control tools

WO2021050446 Art A1 18. März 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021050446
Aktenzeichen: EP20862466
Anmeldetag: 8. September 2020
Veröffentlichung: 18. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/68H01L21/677B25J11/00H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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