Method of operating an evaporation source, evaporation system, and shield handling apparatus

WO2021052595 Art A1 25. März 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021052595
Aktenzeichen: EP19773068
Anmeldetag: 19. September 2019
Veröffentlichung: 25. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L51/00C23C14/12C23C14/24C23C14/56C23C14/04

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von