Method of designing an alignment mark

WO2021052695 Art A1 25. März 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021052695
Aktenzeichen: EP20758164
Anmeldetag: 17. August 2020
Veröffentlichung: 25. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F9/00H01L23/544

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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