Methods for generating characteristic pattern and training machine learning model

WO2021052712 Art A1 25. März 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021052712
Aktenzeichen: EP20767978
Anmeldetag: 21. August 2020
Veröffentlichung: 25. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/36G03F1/70G03F7/20G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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