Laser module as alignment source, metrology system, and lithographic apparatus

WO2021052790 Art A1 25. März 2021

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021052790
Aktenzeichen: EP20771502
Anmeldetag: 4. September 2020
Veröffentlichung: 25. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02B6/24G02B27/48H04B10/25G03F7/20G03F9/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Nachrichtentechnik & Telekommunikation Optik & Fototechnik

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