Improved Broadband Radiation Generation in Hollow-Core Fibres

WO2021052801 Art A1 25. März 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021052801
Aktenzeichen
EP20764700
Anmeldetag
7. September 2020
Veröffentlichung
25. März 2021
Rechtsraum
WO
IPC
G02F1/35G03F7/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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