Vacuum forming member, vacuum forming device, and charged particle device

WO2021053753 Art A1 25. März 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021053753
Aktenzeichen: EP19945964
Anmeldetag: 18. September 2019
Veröffentlichung: 25. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/18H01J37/141

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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