Inspection module, inversion module, and inspection device
WO2021054055
Art A1
25. März 2021
Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021054055
- Aktenzeichen
- EP20866039
- Anmeldetag
- 24. August 2020
- Veröffentlichung
- 25. März 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B23Q7/00G01N21/84
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
SCREEN Holdings
Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.
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Vertreten von
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