Substrate transfer apparatus and method for correcting position of hand of substrate transfer apparatus

WO2021054101 Art A1 25. März 2021

Anmelder: SCREEN HOLDINGS CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021054101
Aktenzeichen: EP20865651
Anmeldetag: 31. August 2020
Veröffentlichung: 25. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B25J9/22H01L21/677H01L21/68G05B19/19G05B19/4155

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SCREEN HOLDINGS CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 SCREEN Holdings

Japanischer Technologiekonzern. SCREEN Holdings stellt Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie her, insbesondere Wafer-Reinigungs- und Beschichtungssysteme, sowie Druck- und Bildverarbeitungstechnik.

1.641 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von