Raw material for forming thin film for atomic layer deposition and method for producing zinc-containing thin film using same

WO2021054160 Art A1 25. März 2021

Anmelder: ADEKA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021054160
Aktenzeichen: EP20865179
Anmeldetag: 7. September 2020
Veröffentlichung: 25. März 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/18C23C16/40C23C16/455H01L21/316

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADEKA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 ADEKA Corporation

ADEKA Corporation ist ein japanisches Chemieunternehmen, das Additive für Kunststoffe, Lebensmittelzutaten und Spezialchemikalien herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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