Evaporation apparatus for evaporating a material to be evaporated, evaporation source, and evaporation method

WO2021058093 Art A1 1. April 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021058093
Aktenzeichen: EP19778947
Anmeldetag: 24. September 2019
Veröffentlichung: 1. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/24C23C14/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von