Station and method for cleaning a transport enclosure for the conveying and atmospheric storage of semiconductors substrates
WO2021058303
Art A1
1. April 2021
Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021058303
- Aktenzeichen
- EP20767844
- Anmeldetag
- 11. September 2020
- Veröffentlichung
- 1. April 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- B08B3/02B08B9/08H01L21/67H01L21/673
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- PFEIFFER VACUUM
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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