Assembly of a laser ablation apparatus and laser ablation apparatus of such an assembly

WO2021058545 Art A1 1. April 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH, CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021058545
Aktenzeichen
EP20780626
Anmeldetag
23. September 2020
Veröffentlichung
1. April 2021
Rechtsraum
WO
IPC
B23K26/16B23K26/12B23K26/36B23K26/352
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
CARL ZEISS SMT GMBH
CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

2.390 Patente in unserer Datenbank

🇩🇪 Carl Zeiss Microscopy GmbH

Deutscher Hersteller von Mikroskopen und Bildgebungssystemen für Forschung und Industrie, Teil der Zeiss-Gruppe.

609 Patente in unserer Datenbank

Vertreten von

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