Part for plasma processing apparatus, manufacturing method thereof, and plasma processing apparatus

WO2021060180 Art A1 1. April 2021

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021060180
Aktenzeichen: EP20867842
Anmeldetag: 18. September 2020
Veröffentlichung: 1. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C04B35/10C04B35/505H01L21/3065C23C16/44C23C16/50

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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