Ruo4 gas generation suppression agent, and ruo4 gas generation suppression method

WO2021060234 Art A1 1. April 2021

Anmelder: TOKUYAMA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021060234
Aktenzeichen: EP20867212
Anmeldetag: 23. September 2020
Veröffentlichung: 1. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23F1/40H01L21/304H01L21/306H01L21/308H01L21/3213H01L21/768H01L21/3205H01L23/532

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TOKUYAMA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokuyama

Japanisches Chemieunternehmen mit Sitz in Shunan, gegründet 1918. Produziert unter anderem Spezialchemikalien, Zement und Halbleitermaterialien.

1.073 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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