Base conducting layer beneath graphite layer of ceramic cathode for use with cathodic arc deposition

WO2021061196 Art A1 1. April 2021

Anmelder: WESTERN DIGITAL TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021061196
Aktenzeichen: EP20868086
Anmeldetag: 26. März 2020
Veröffentlichung: 1. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C14/32C23C14/06H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: WESTERN DIGITAL TECHNOLOGIES, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Western Digital Technologies

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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