Unsupervised learning-based reference selection for enhanced defect inspection sensitivity

WO2021061499 Art A1 1. April 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021061499
Aktenzeichen: EP20868202
Anmeldetag: 18. September 2020
Veröffentlichung: 1. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01N21/88G01N21/95

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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