Systems and methods for autonomous process control and optimization of semiconductor equipment using light interferometry and reflectometry

WO2021061541 Art A1 1. April 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021061541
Aktenzeichen: EP20869381
Anmeldetag: 21. September 2020
Veröffentlichung: 1. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67G05B19/418H01L21/687C23C16/458C23C16/52H01J37/32G01B11/06H01L21/66G01B11/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik

Vertreten von